华宇登录洁净厂房设计规范GB50073-2013之空气洁净度等级

华宇用户注册《Q17627115》1.洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定:

① 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按下表确定。

洁净室及洁净区空气洁净度整数等级

洁净要求

按不同的测量方法,各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。

② 各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算:

洁净要求

式中:Cn——大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数;

N——空气洁净度等级,数字不超过9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量;

D——要求的粒径(μm);

0.1——常数,其量纲为μm。

③ 当工艺要求粒径不止一个时,相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1.5倍。

④ 空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm~0.5μm,超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明。

2.空气洁净度等级所处状态包括空态、静态、动态,空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定。

3.空气洁净度的测试方法应按本规范附录A的要求进行。

4.当洁净室(区)内的产品生产工艺要求控制微生物、化学污染物时,应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物、化学污染物浓度限值。

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